深圳市威亞工程塑料有限公司
產品特性
Semitron? 半導體級產品的研發(fā)，是為了幫助設計者和使用客戶來優(yōu)化元件制造設備的性能。另外，在元件制造時，涉及到要求高耐磨、耐化學和抗靜電的特殊應用，Semitron? 半導體級產品都是理想選材。
Semitron?主要分兩個系列，分別適用于元件操作和測試過程，以及下一代CMP制程。
先進聚合物材料
Semitron MP 370材料用在半導體制造行業(yè)，為精密測試座（socket）的設計和制作提供了更多選擇性。Semitron MP 370不僅有PEEK固有的極好吸濕性和耐高溫性，而且具有更高的強度和尺寸穩(wěn)定性。因這款訂制配方材料的機加工性能卓越，因此可以做到更為精細和干凈地加工。
- ?極低的吸濕性
- ?優(yōu)秀的機加工性能，可實現(xiàn)極小而緊密的孔模
- ?強度和剛度超越了未填充的PEEK材料
- ?內應力低和無模塑坯件的"軟心"問題
Semitron MDS 100非常好地綜合了強度、剛度和穩(wěn)定性的特性。它的開發(fā)旨在用于不受控制或者高精密度要求的應用場合。Semitron MDS 100是半導體測試座（socket）、嵌套（nest）、夾具和封裝設備的理想選材。
- ?24小時只有0.10% 的吸濕率（ASTM D570）
- ?耐溫至210°C
- ?彈性模量 > 1,400,000 psi
抗靜電聚甲醛
Semitron ESd 225是硬盤驅動器制造過程中所用夾具的理想選材；也是硅晶圓工藝操作時的理想選材。它的顏色為褐色。
- ?表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
- ?耐溫至107°C
- ?良好的耐磨性能
抗靜電PEI
Semitron ESd 410C用在芯片檢測制程中操作芯片，使其通過檢測設備。它的顏色為黑色，不透明。
- ?表面電阻率：104 - 106 ohms/sq.
- ?耐熱至210°C
- ?應力低，緊公差加工適用
- ?較高的強度和剛度
Semitron ESd 420是唯一一款真正可用于高溫環(huán)境的抗靜電塑料產品。
- ?表面電阻率：106 - 109 ohms/sq.
- ?熱性能好
抗靜電PEEK
SEMITRON? ESD 480此款抗靜電PEEK的表面電阻率為106 - 109 ohms/sq。Semitron ESd 480的尺寸穩(wěn)定性非常高，因此成為臨界測試夾具的理想選材。它的耐化學性絕佳，極適用作晶片傳送，和濕制程用工具的結構件，而這些應用中，靜電耗散也是非常重要的。作為跨駿Semitron ESd 材料，Semitron ESd480容易被介電擊穿。
SEMITRON? ESD 490HR
具有稍高電阻率的PEEK材料，其物理性能與Semitron ESd 480相似。
- ?表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
抗靜電PTFE
SEMITRON? ESD 500HR采用專有合成云母增強，Semitron ESd 500HR提供了絕佳的低摩擦特性和尺寸穩(wěn)定性。凡是使用 PTFE的場合，都可考慮Semitron ESd 500HR 。用于控制靜電排放時，它是理想的選材。顏色為白色。
- ?表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
- ?熱至260°C
- ?隔熱
- ?極低的摩擦系數
- ?可耐化學品廣泛
抗靜電PAI
SEMITRON? ESD 520HRSemitron ESd 520HR是行業(yè)內第一款集靜電耗散(ESd)、高強度和耐熱性于一體的材料。該種新型的ESd材料用在測試設備上，是加工嵌套（nest）、測試座（socket）和接觸器（contactor）的理想選材，也是其他元件操作部件的理想選材。520HR在高壓（>100V）下能抗介質擊穿，這是它的獨特及關鍵特性。下圖呈現(xiàn)的是：通常用在自動測試分類機上，塑料材料表現(xiàn)的電性能。甚至只是暴露于中等電壓下，傳統(tǒng)碳纖維增強產品的導電性也呈現(xiàn)不可逆轉的增強。
在機械性能都可以勝任的情況下，只有Semitron ESd 520HR在整個電壓范圍內能夠維持其電性能。
表面電阻率：1010 - 1012 ohms/sq.
| 靜電耗散（表面電阻率，ohms/sq.） | |
|---|---|
| Semitron? ESd 225 | 1010 - 1012 |
| Semitron? ESd 410C | 104 - 106 |
| Semitron? ESd 420 | 106 - 109 |
| Semitron? ESd 500HR | 1010 - 1012 |
| Semitron? ESd 520HR | 1010 - 1012 |
Semitron? CMP材料
Semitron CMP產品系列的研發(fā)，為新工具設計者和具有遠大目光的終端使用者提供了這樣的機會——增加單個晶圓可生產芯片的成功率，同時降低了每個芯片的生產成本。
CMP優(yōu)化的PET-P
Semitron CMP LL5屬于下一代材料，專為盡可能大幅度提高CMP工具的性能而研發(fā)。它的顏色為白色，不透明。
- ?超長壽命材料--5倍于 PPS
- ?在CMP應用場合，溫度達到 60°C 時的理想選材
- ?氧化化學反應中性能最佳--8倍于 PPS
CMP優(yōu)化的PAI
Semitron CMP XL20是由三菱化學先進材料研發(fā)團隊開發(fā)的頂級CMP材料，它的顏色為炭黑色，不透明。
- ?大大降低單片晶圓的成本
- ?性能超越PPS，在大多數工序中達到20倍
- ?高強度和剛度，帶來更少的邊緣損壞和更佳的一致性